Namai > žinios > Pramonės naujienos

Laidūs padengti grafito šildytuvai

2025-07-04

The laidus padengtas grafito šildytuvasyra naujas produktas, skirtas aukštos temperatūros puslaidininkių apdorojimui ir kitoms vakuuminėms šiluminėms sistemoms. Jame naudojamas geras aukšto grynumo grafito šiluminis stabilumas ir puikios silicio karbido (SIC) dangos paviršiaus charakteristikos. Laidus dengtas grafito šildytuvas dar labiau skiriasi nuo jo azoto pavidalo SIC sluoksnio, kuris siūlo žymiai pagerintą paviršiaus laidumą, todėl jis yra ypač tinkamas pritaikymams, kuriems reikia kontroliuojamų ir net kaitinamų, turint puikų elektrinį efektyvumą.


Šildytuvas sukonstruotas su aukšto stiprumo grafito substratu, kuris veikia kaip pagrindinis struktūrinis ir šilumos laidininkas. Buvo pasirinktas grafitas, ypač jam suteiktas didelis šilumos laidumo lygis, žemo šiluminio išsiplėtimo koeficientas ir atsparumas šiluminiam šokui. Šios charakteristikos daro grafitą tinkama bazine medžiaga aukštos temperatūros proceso srityje, kur gali būti greitas šildymo ir aušinimo ciklai. Tačiau pats nesugadintas grafitas tam tikroje atmosferoje yra chemiškai reaguojanti ir gali patirti paviršiaus pažeidimą ar skilimą, dalelių emisiją ar pernešimą ilgesnio naudojimo metu, ypač puslaidininkių švaraus kambario aplinkoje.


Norėdami įveikti šiuos apribojimus, grafito dalis yra padengta storu, didelio grynumo SiC sluoksniu. SIC danga atlieka daugybę funkcijų: ji suteikia apsaugą nuo oksidacijos ir cheminės korozijos, ji suteikia labai kietą, atsparu dilimui paviršių ir užtikrina suderinamumą su vakuuminiu ir švaraus kambario standartais. SIC turi reputaciją dėl ypatingo kietumo, didelio šilumos laidumo ir cheminio inertiškumo; Dėl šios priežasties tai yra puiki dangos medžiaga, skirta aukšto našumo šiluminiams komponentams.


Unikalios šio produkto naujovės yra azoto dopingas SIC dangos dopingas. Cheminio garų nusėdimo (CVD) proceso metu azoto atomai yra įterpti į sic grotelę, sukuriant laisvus nešiklius, kurie gali smarkiai sumažinti jo paviršiaus varžą, todėl sukuria laidų paviršiaus sluoksnį ir leiskite srovei tiesiogiai praeiti, o ne naudodami prieigos tašką per SIC dangą, taip leisdami visą grafitą komponentą veikti kaip atsparumą.


KlasikinisSiC dangosyra izoliaciniai, o tai iš tikrųjų riboja juos aktyvių elektrinių programų srityje. Ir atvirkščiai, azoto šildyto SIC sluoksnio ant šildytuvo yra ypač mažas atsparumas paviršiui, tačiau vis dar palaiko visą klasikinio SIC mechaninį ir cheminį naudą. Laidus sluoksnis suteikia labai gerą srovės vienodumą ir sumažina galios nuostolius, tuo pačiu pagerindamas šilumos pasiskirstymą šildytuvo paviršiuje. Tai ypač idealiai tinka tikslaus šildymo pritaikymui tokiomis sąlygomis, dažnai susijusiomis su epitaksiniais reaktoriais, difuzijos krosnimis ir greito šiluminio apdorojimo (RTP) įranga.


Šildytuvo geometrija, paprastai spiralė ar serpentine, kaip parodyta paveikslėlyje, yra suprojektuota ir optimizuota siekiant gaminti vienodą šiluminės išėjimo energiją ir vienodą elektrinę apkrovą. Integruotai grafito ir laidžios SIC dangos projektavimui, elektros kontaktai gali būti tiesiogiai ant padengto paviršiaus, kuris pašalina poreikį bet kokiems papildomoms elektrodams ar metalinei jungčiai. Tai sumažina užteršimo riziką ir sukelia paprastesnį surinkimą. Taigi bendras efektyvumas pagerėja.


Pagrindiniai laidumo pranašumaiSiC dengtas grafito šildytuvasapima:


Puikus elektrinis laidumas dėl azoto dopingo, įgalinantis nuolatinės srovės srautą ir efektyvų varžą.

Aukščiausias šiluminis vienodumas su tikslia temperatūros kontrole visame paviršiaus plote.

Didelis cheminis atsparumas, ypač ėsdinančioje aplinkoje, tokioje kaip vandenilis, amoniakas ar halogenų turtinga atmosfera.

Minimalus dalelių generavimas, atitinkantis griežtus puslaidininkių gamybos grynumo reikalavimus.

Išplėstas aptarnavimo tarnavimo laikas dėl tiek grafito šerdies, tiek SiC dangos mechaninio ilgaamžiškumo ir šiluminio smūgio.


Šio šildytuvo programos taikomos daugelyje pažangių technologijų pramonės. Šildytuvas ras vietą puslaidininkių gamybos procesuose, tokiuose kaip cheminio garų nusėdimas (CVD), molekulinės pluošto epitaksija (MBE) ir vaflių atkaitinimas, kur kritinė yra tiksli temperatūros kontrolė ir medžiagų grynumas. SiC dengtas grafito šildytuvas taip pat gali būti naudojamas fotoelektrinėje gamyboje, pažengusios keramikos sukepinant ir kituose šiluminiuose procesuose, kur reikia didesnio našumo, ilgaamžiškumo ir tvirtų šildytuvų.


Apibendrinant galima pasakyti, kad laidus SIC dengtas grafito šildytuvas yra įspūdinga plėtojant šiluminius komponentus. Naudodamiesi azoto liejimo SIC danga, mes sukūrėme veiksmingą šiluminį produktą, kuris sėkmingai sujungia SIC dangos cheminį stabilumą su elektriniu laidumu. Taigi, sukuriant efektyvesnį, švaresnį ir patikimesnį šiluminį procesą reikliausioms pramoninėms reikmėms. Puslaidininkių ir medžiagų pramonė susiduria su nuolatiniais pokyčiais, o tokio pobūdžio hibridinės medžiagos taps vis svarbesnės, kad ateityje būtų sudėtingesnės gamybos technologijos.






„Semicorex“ siūlo aukštos kokybėsgrafito šildytuvai su dangaproduktai. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.


Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept