Įvesdami aliuminio oksido medžiagą

Aliuminio oksido keramikaKomponentai pasižymi puikiomis savybėmis, tokiomis kaip didelis kietumas, didelis mechaninis stiprumas, atsparumas super atsparumui, aukšta temperatūra, didelis atsparumas ir geras elektrinės izoliacijos našumas. Jie gali patenkinti sudėtingus puslaidininkių gamybos reikalavimus specialioje aplinkoje, tokioje kaip vakuumas ir aukšta temperatūra. Jie vaidina nepakeičiamą ir svarbų vaidmenį puslaidininkių gamybos linijose. Jų programos apima beveik visą puslaidininkių gamybos įrangą ir yra pagrindiniai puslaidininkių gamybos įrangos komponentai. Nuolat plėtojant puslaidininkių pramonę, ryškesnė aliuminio oksido keraminių komponentų svarba pramoninėje grandinėje.

Mažėjant lusto ypatybės dydžiui, puslaidininkių įranga turi griežtesnius komponentų reikalavimus, o jos tankis, vienodumas, atsparumas korozijai ir kt. Reikia būti didesni. Pastaraisiais metais vidaus ir užsienio mokslininkai sukūrė įvairius naujus procesus, siekdami pagerinti aliuminio oksido keraminių medžiagų sukepinimo sąlygas, kad jie galėtų greitai tankinti medžiagas žemesnėje sukepinimo temperatūroje, tokioje kaip savaime sklindanti aukštos temperatūros sukepinimas, spindinčias sukepinimas, šaltas sukepinimas ir svyruoja slėgis. Tarp jų šaltas sukepinimas yra pridėti trumpalaikį tirpiklį į miltelius ir padaryti didelį slėgį (350 ~ 500MPa), kad padidintumėte pertvarkymą ir difuziją tarp dalelių, kad keramikos miltelius būtų galima sukepinti ir tankinti žemesnėje temperatūroje (120 ~ 300 ℃) ir trumpesnį laiką.

Šiuo metu pasaulinis integruotos grandinės gamybos procesas išsivystė į sudėtingesnį procesą 3-nanometro lygiu. Puslaidininkių įranga ir puslaidininkių įrangos tikslūs komponentai turi būti nuolat tobulinami ir atnaujinami, todėl reikia patobulinti procesus, kad būtų patenkinti naujausi gamybos poreikiai. Atnaujinus puslaidininkių įrangą, specifiniai naujos komponentų įrangos reikalavimai pasikeis sinchroniškai. Tobulėjant puslaidininkių technologijai, aliuminio oksido keraminių komponentų veikimo reikalavimai tampa vis didesni ir didesni, įskaitant didesnį atsparumą dilimui, atsparumą aukštai temperatūrai ir geresnę elektros izoliaciją. Pramonės tendencijos linkusios ugdyti didesnį grynumą, smulkesnes struktūros aliuminio oksido miltelių medžiagas ir priima pažangias paruošimo technologijas.

Aliuminio oksido keramikaturi labai didelius grynumo reikalavimus, kai jie naudojami puslaidininkių lauke, paprastai didesnis nei 99,5%. Puslaidininkio lauke aliuminio oksido keraminės dalys yra viena iš pagrindinių puslaidininkių įrangos dalių. Daugelis jų naudojami kamerose arčiau vaflio. Puslaidininkių įrangoje jie klasifikuojami naudojant ir daugiausia yra suskirstytos į žiedinius cilindrus, oro srauto kreipiklius, fiksuotus krovinius, rankomis pritvirtintus tarpus, modulius ir kt.

Emtacinio proceso metu, siekiant sumažinti vaflių užteršimą plazmos oforto metu, didelio grynumo aliuminio oksido dangos arba aliuminio oksido keramika su stipriu atsparumu korozijai yra parinktos kaip ėsdinimo kameros apsauginės medžiagos ir kameros pamušalas.

Plazmos valymo procese naudojami ėsdinamosios dujos, turinčios labai reaktyvius halogeninius elementus, tokius kaip fluoras ir chloras. Dujų antgalis paprastai yra pagamintas iš aliuminio oksido keramikos, kuriai reikalinga didelė atsparumas plazmoje, dielektriniam stiprumui ir stipriam atsparumui korozijai dujoms ir šalutiniams produktams. Tuo pačiu metu dujų srautui tiksliai valdyti naudojama vidinė tikslios skylės struktūra.

Puslaidininkių gamybos procese vaflis gali būti apdorotas aukštai temperatūroje, pavyzdžiui, ėsdinimas, jonų implantacija ir kt. Kaip vaflių perdavimo nešiklis, aliuminio oksido vaflių nešiklis gali užtikrinti vaflių stabilumą ir saugumą perdavimo proceso metu. Aliuminio oksido vaflių nešiklis turi gerą šilumos laidumą ir gali efektyviai išsklaidyti ir eksportuoti vaflio sukeltą šilumą, taip apsaugant vaflį nuo šiluminių pažeidimų.

Tvarkant vaflius, bus naudojama keraminė robotinė ranka, pagaminta iš aliuminio oksido keramikos. Jis bus įdiegtas ant vaflių tvarkymo roboto, kuris prilygsta roboto rankai. Jis yra atsakingas už vaflio nešimą į nurodytą vietą, o jo paviršius tiesiogiai liečiasi su vafliu. Kadangi vafliai yra ypač jautrūs kitų dalelių užterštumui, jos paprastai atliekamos vakuume. Šioje aplinkoje daugumos medžiagų robotinės rankos paprastai sunku atlikti darbą. Medžiagos, naudojamos robotinėms rankoms gaminti, turi būti atsparios aukštai temperatūrai, atsparios dilimams ir turi didelį kietumą. Dėl darbo sąlygų reikalavimų jie paprastai gaminami iš ypač didelio grynumo aliuminio oksido keraminių medžiagų, todėl reikia garantuoti keraminių dalių tikslumą ir paviršiaus šiurkštumą.

„Semicorex“ siūlo aukštos kokybėsAliuminio oksido keraminės dalyspuslaidininkyje, įskaitant SiC dangas ir TAC dangas. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com