Keraminiai šildytuvai

Puslaidininkių gamybos priekiniame procese (FEOL)VaferisReikia atlikti įvairius proceso procedūras, ypač vaflius reikia pašildyti iki tam tikros temperatūros, ir yra griežtų reikalavimų, nes temperatūros vienodumas daro labai didelę įtaką produkto derliui; Tuo pačiu metu puslaidininkių įranga turi veikti esant vakuumui, plazmui ir cheminėms dujoms, kurioms reikia naudoti keraminius šildytuvus.Keraminiai šildytuvaiyra svarbūs puslaidininkio plonos plėvelės nusodinimo įrangos komponentai. Jie naudojami proceso kameroje ir tiesiogiai susisiekia su vafliu, kad galėtų nešiotis ir įgalina vaflį, kad gautų stabilią ir vienodą proceso temperatūrą, ir labai tiksliai reaguoti į vaflio paviršių, kad būtų sukurtos plonos plėvelės.

Kadangi keraminių šildytuvų naudojama plonos plėvelės nusėdimo įranga apima aukštą temperatūrą, paprastai naudojamos keraminės medžiagos, daugiausia pagrįstos aliuminio nitridu (ALN). Nes aliuminio nitridas turi elektrinę izoliaciją ir puikų šilumos laidumą; Be to, jo šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra artimas silicio koeficientui ir turi puikų atsparumą plazmoje, jis labai tinka naudoti kaip puslaidininkių įrangos komponentas.

Elektrostatiniai griebtuvai (ESC) daugiausia naudojami ėsdinimo įrangoje, daugiausia aliuminio okside (AL2O3). Kadangi pačiame elektrostatiniame griebtuve taip pat yra šildytuvo, kuris yra sausas ėsdinimas kaip pavyzdys, norint išlaikyti tam tikrą ėsdinimo savybę, būtina valdyti vaflį tam tikroje temperatūroje, esant –70 ℃ ~ 100 ℃. Todėl vaflinuką reikia kaitinami arba išsklaidyti elektrostatiniu šepetėliu, kad būtų galima tiksliai valdyti vaflių temperatūrą. Be to, siekiant užtikrinti vaflinio paviršiaus vienodumą, elektrostatiniam chuckui dažnai reikia padidinti temperatūros kontrolės zoną, kad būtų galima atskirai valdyti kiekvienos temperatūros kontrolės zonos temperatūrą, kad pagerintų proceso derlių. Žinoma, plėtojant technologijas, skirtumas tarp tradicinių keraminių šildytuvų ir elektrostatinių griovių pradėjo neryškiai. Kai kurie keraminiai šildytuvai turi dvigubas šildymo ir elektrostatinės adsorbcijos aukštos temperatūros funkcijas.

Keraminį šildytuvą sudaro keraminė bazė, nešiojanti vaflį ir cilindrinę atraminę korpusą, kuris jį palaiko ant nugaros. Keraminės bazės viduje arba paviršiuje, be pasipriešinimo elemento (kaitinimo sluoksnio) šildymui, taip pat yra radijo dažnio elektrodas (radijo dažnio sluoksnis). Norint pasiekti greitą šildymą ir aušinimą, keramikos pagrindo storis turėtų būti plonas, tačiau per plonas taip pat sumažins tvirtumą. Šildytuvo atrama paprastai pagaminta iš medžiagos, kurios šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra panašus į bazę, todėl atraminis korpusas dažnai taip pat pagamintas iš aliuminio nitrido. Šildytuvas priima unikalią veleno (veleno) jungties struktūrą apačioje, kuri gali apsaugoti gnybtus ir laidus nuo plazmos ir korozinių cheminių dujų poveikio. Šilumos laidumo dujų įleidimo angoje ir išleidimo vamzdis yra atraminis kūne, kad būtų užtikrinta vienoda šildytuvo temperatūra. Bazė ir atraminis kūnas yra chemiškai surišti su jungimo sluoksniu.

„Semicorex“ siūlo aukštos kokybėsKeraminiai šildytuvai. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com