Puslaidininkių keraminės dalys

Puslaidininkių keraminės dalys priklauso pažangiems keramikams ir yra nepakeičiama puslaidininkių gamybos proceso dalis. Paruošimo žaliavos paprastai yra didelės grynumo, ypač smulkios neorganinės medžiagos, tokios kaip aliuminio oksidas, silicio karbidas, aliuminio nitridas, silicio nitridas, yttrium oksidas, cirkonio oksidas ir kt.

Aliuminio oksidas

Jis plačiai naudojamas, o produkto našumas skiriasi priklausomai nuo grynumo. 95% grynumo yra šviesiai geltona, o 99% grynumas yra sniego baltas. Jis turi puikų tvirtumą, stiprumą, atsparumą dėvėjimams, atsparumui aukštai temperatūrai ir atsparumą korozijai, ir gali būti naudojamas daugumai puslaidininkių keraminių dalių, tokių kaip keraminiai purkštukai, keraminės rankos ir kt.

Silicio karbidas

Jis yra juodas, turi aukštą šilumos laidumą, didelį stiprumą ir kietumą, lengvą svorį, gerą atsparumą smūgiui ir dažnai naudojamas vakuuminių ginklų ir vakuuminių siurbimo puodelių paruošimui.

Aliuminio nitridas

Jis turi aukštą šilumos laidumą, šiluminio išsiplėtimo koeficientą, atitinkantį silicį, mažą dielektrinę konstantą ir dielektrinį nuostolį, ir gali būti naudojamas šilumos išsklaidymo substratams, keraminiams purkštukams ir kt.

Silicio nitridas

Aukštas lydymosi taškas, ypač didelis kietumas, didelis cheminis inertiškumas, žemo šiluminio išsiplėtimo koeficientas, didelis šilumos laidumas, geras šiluminio smūgio atsparumas, didelis atsparumas smūgiui ir stiprumas mažesnis nei 1200 ℃, dažnai naudojamas keraminiams substratams, keraminiams vamzdeliams ir kt.

Yttrium oksidas

Aukštas lydymosi taškas, geras cheminis ir fotocheminis stabilumas, didelis šilumos laidumas, geras šviesos pralaidumas, dažnai derinamas su aliuminio oksidu, kad būtų gaminami keraminiai langai.

Cirkonio oksidas

Didelis mechaninis stiprumas, aukštos temperatūros atsparumas, rūgšties ir šarmų atsparumas, gera izoliacija, atsižvelgiant į skirtingą kiekį iš keraminių produktų skirtingais tikslais, pavyzdžiui, integruoti grandinės substratai ir kt.

Dalių tipai:

„Visapusiškos“ puslaidininkinės keraminės dalys su skirtingomis funkcijomis yra plačiai naudojamos įvairių tipų puslaidininkių raktų įrangoje, daugiausia įskaitant šias:

Puslaidininkinė keraminė ranka

Vežant vaflius vaidina svarbų vaidmenį puslaidininkių įrangoje, ir jam reikia dirbti vakuume švarioje aplinkoje. Paprastai paruoštas su didelio grynumo aliuminio oksidu arba silicio karbidu, aliuminio oksidas yra ekonomiškas ir naudojamas daugiau.

Keraminis substratas

Taikomi skirtinguose elektroniniuose pakavimo laukuose, tokiuose kaip elektroniniai elektroniniai prietaisai, lazeriai ir kt., Ir dažnai yra paruošiami su tokiomis medžiagomis kaip aliuminio oksido ir silicio nitridas.

Keraminis purkštukas

HDP-CVD jo kokybė turi įtakos reakcijos dujų grynumui ir srautui. Aliuminio nitridų keramika yra labiau tinkama pažangiai proceso įrangai dėl jų puikaus našumo.

Keraminis langas

Tai yra pagrindinis puslaidininkio eurkos komponentas. Jis gali būti uždaromas vakuume, nepaveikdamas plazmos įsiskverbimo. Paprastai jis gaminamas iš didelio grynumo aliuminio oksido ir YTTRIum oksido.

Keraminės kameros danga

It is a key component of the thin film deposition equipment, which is crucial to ensure the quality of the wafer and the sealing of the reaction chamber.

Keraminis vakuumas

Jis naudojamas silicio plokštelės išdėstymui ir užfiksavimui. Tai porėta keramika, pagaminta iš dviejų keraminių medžiagų.

Paruošimo procesas:

Puslaidininkių keraminių dalių „meistriškumo“ paruošimo procesas yra sudėtingas, daugiausia įtraukiant šiuos veiksmus:

Miltelių paruošimas

Žaliavas reikia perdirbti, o žaliaviniai milteliai, tenkinantys reikalavimus, gaunami per partijas, mechaninį rutulinį frezavimą, purškimo džiovinimą ir kitus procesus.

Miltelių liejimas

Dažniausiai naudojamas sausas presavimas, izostatinis presavimas, juostos liejimas, įpurškimo liejimas, gelio įpurškimo liejimas ir kiti metodai, kad milteliai taptų keraminiais žaliaisiais korpusais.

Aukštos temperatūros sukepinimas

Keraminis žalias kūnas virsta tankiu virtu kūnu, naudojant normalų slėgį sukepinant, vakuuminį sukepinimą, atmosferos sukepinimą ir kitus metodus.

Tikslus apdirbimas

Sukepintas keramikinis korpusas yra perdirbtas su CNC tekinimo staklėmis, šlifuokliais ir kt., Kad būtų pasiektas reikiamas dydis ir tikslumas.

Kokybės patikrinimas

Siekiant užtikrinti produkto kokybę, išbandoma keraminių dalių išvaizda, dydis, poringumas, šiurkštumas ir kitos savybės.

Paviršiaus apdorojimas

Produktų, kurie praeina kokybišką patikrinimą, paviršius yra išvalytas, todėl specialiems poreikiams reikalingas tolesnis paviršiaus apdorojimas, pavyzdžiui, purškimas iš lanko, purškimas plazmoje ir kt.

„Semicorex“ siūlo aukštos kokybėskeraminės dalyspuslaidininkyje. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com