Kaip pažengusios medžiagos išsprendžia 3 kritinius iššūkius, susijusius su puslaidininkių krosnių dizainu

Varžybos, siekdamos susitraukti tranzistoriaus dydžius ir mastelio saulės elementų efektyvumas, padidina šiluminio perdirbimo įrangą iki jo ribų. „Semicorex“ metu du dešimtmečius praleidome bendradarbiaudami su pirmaujančiais puslaidininkių ir PV gamintojais, norėdami atkreipti dėmesį į pasikartojantį skausmo tašką: Kai standartinės medžiagos žlunga ekstremaliomis sąlygomis, gali būti pakenkta ištisoms gamybos partijoms.

CVD dangos: proceso komponentų šarvai

Cheminio garų nusėdimo (CVD) dangos, tokios kaip silicio karbidas (SIC) ir tantalo karbidas (TAC), revoliucionuoja komponentų ilgaamžiškumą atšiaurioje aplinkoje:

SiC dangaPrivalumai:

Atlaiko iki 1 650 ° C temperatūra inertinėje atmosferoje

Sumažina dalelių užteršimą epitaksiniame augimo reaktoriuose

Prailgina grafito jautriųjų tarnavimo laiką 3-5x

TAC dangadifuzijos barjeruose:

Neleidžia išlydytą silicio įsiskverbimą į kontraktus (99,999% grynumo susilaikymas)

Sumažina vaflių deformaciją greito šiluminio apdorojimo metu (RTP)

Kai temperatūra viršija 1600 ° C: CVD dangos pranašumas

Tai nėra magija - tai medžiagų mokslas. Mūsų patentuotas CVD procesas nusodina tiek SIC, tiek TAC dangas, tiksliai tikslumu, sukurdami paviršius, kurie:

Atspaokite silicio garų korozijai 3x ilgiau nei standartinės dangos

Išlaikykite <0,5 µm storio kitimus tarp sudėtingų geometrijų

Pašalinkite dangos delaminaciją net esant šiluminiam ciklui

Tyli šiluminio vienodumo krizė

Krištolo augimo krosnyse nenuoseklus temperatūros pasiskirstymas gali paversti 250 000 USD silicio luitą į laužą. Per materialias naujoves, tokias kaip:

Tankio grafito veltinis (0,18–0,25 g/cm³ gradiento dizainas)

Anglies-anglies kompoziciniai izoliatoriai, kurių šiluminis išsiplėtimo anizotropija yra <2%

... Mes padėjome klientams pasiekti:

✔️ ± 1,5 ° C ašinės temperatūros vienodumas 300 mm czochralski sistemose

✔️ 40% greitesni aušinimo normos be įtrūkimo įtrūkimo

Kodėl kvarco grynumas yra svarbesnis nei bet kada

Kai „Tier-1 MEMS“ liejykla atsekė dalelių defektus į jų ėsdinimo kameros įdėklus, mūsų burbuliukų lieknojo kvarco tirpalas:

Sumažintas metalo užterštumas 89% (ICP-MS analizė)

Išplėstiniai prevencinės priežiūros intervalai nuo 3 iki 8 mėnesių

Pasiektas 99,999% pradinis grynumas, kai <0,1ppb šarminio metalo kiekis

Be specifikacijų: Programos inžinerija yra svarbi

Nors techninės specifikacijos pateikia pradinius palyginimus, realaus pasaulio našumas priklauso nuo:

• Medžiagos proceso jungtis - kaip komponentai sąveikauja su specifinėmis chemijomis (pvz., CL₂ vs SF₆ plazmos)

• Gedimo režimo bibliotekos - mūsų 1200+ komponentų gedimo duomenų bazė informuoja apie medžiagų pasirinkimą

• Individualus klasifikavimas - grafito poringumo/laidumo koregavimas visoje dalyje skerspjūvyje

„Semicorex“ siūlo aukštos kokybėsTantalo karbidas padengtasirSilicio karbidas padengtasIndividualizuotos dalys. Jei turite klausimų ar jums reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Susisiekite su telefonu # +86-13567891907

El. Paštas: sales@semicorex.com